Kỹ Thuật Chế Tạo Màng Mỏng (NXB Đại Học Quốc Gia 2014) - Vũ Thị Hạnh Thu, 236 Trang

Giáo trình Kỹ thuật chế tạo màng mỏng được biên soạn chủ yếu để làm tài liệu học tập và tham khảo cho sinh viên và học viên cao học các môn có liên quan đến kỹ thuật và vật liệu màng mỏng mà người viết đã và đang giảng dạy tại Khoa Vật lý - Vật lý kỹ thuật, Khoa Khoa học Vật liệu Trường Đại học Khoa học Tự nhiên và Khoa Công nghệ vật liệu tại , Trường Đại học Bách khoa - Đại học Quốc gia TP. Hồ Chí Minh. Giáo trình này gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học, lắng đọng lớp nguyên tử, bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử,… Ngoài ra, kỹ thuật khắc (lithography) cũng được trình bày như một phương pháp được dùng để biến đổi màng mỏng thành các chi tiết linh kiện ở cấu trúc nano, micro. Giáo trình này được đúc kết trên nền tảng kiến thức trong tài liệu tham khảo và kinh nghiệm giảng dạy của người viết qua 8 năm giảng dạy các môn học có liên quan đến màng mỏng. Hy vọng rằng, giáo trình này sẽ hữu dụng để giúp các bạn sinh viên và học viên cao học hình dung rõ ràng các kỹ thuật chế tạo màng mỏng

• Kỹ Thuật Chế Tạo Màng Mỏng
• NXB Đại Học Quốc Gia 2014
• Vũ Thị Hạnh Thu
• 236 Trang
• File PDF-SCAN

Link download
http://ir.vnulib.edu.vn/handle/VNU_HCM/6773
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTZ3WGQHg04L1