Vật Lý Và Kỹ Thuật Màng Mỏng NXB Đại Học Quốc Gia 2005 Nguyễn Năng Định 246 Trang “Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” là môn học cơ sở của ngành Vật lý kỹ thuật thuộc Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia H à Nội. Giáo trình “Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” được biên soạn nhằm phục vụ giảng dạy vàhọc tập trong Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nanô, Trường Đại học Công nghệ. Giáo trình giúp sinh viên củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Giáo trình gồm tám chương: Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng Chương 2. Động học chất khí Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ Chương 4.Vật lý và kỹ thuật chân không cao Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không Chương 6. Chế tạo màng mỏng bằng kỹ thuật chân không Chương 7. Phương pháp phún xạ Chương 8. Các phương pháp phân tích đ ặc trưng màng mỏng Link Download eBook có trong tuyển tập DVD Vật Lý http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1041273https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTM6cEZ3WGQHg04L1
