Vật Lý Và Kỹ Thuật Màng Mỏng (NXB Đại Học Quốc Gia 2005) - Nguyễn Năng Định, 246 Trang

“Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” là môn học cơ sở của ngành Vật lý kỹ thuật thuộc Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia H à Nội. Giáo trình “Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” được biên soạn nhằm phục vụ giảng dạy vàhọc tập trong Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nanô, Trường Đại học Công nghệ. Giáo trình giúp sinh viên củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Giáo trình gồm tám chương:
Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng
Chương 2. Động học chất khí
Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ
Chương 4.Vật lý và kỹ thuật chân không cao
Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không
Chương 6. Chế tạo màng mỏng bằng kỹ thuật chân không
Chương 7. Phương pháp phún xạ
Chương 8. Các phương pháp phân tích đ ặc trưng màng mỏng

• Vật Lý Và Kỹ Thuật Màng Mỏng
• NXB Đại Học Quốc Gia 2005
• Nguyễn Năng Định
• 246 Trang
• File PDF-SCAN

Link download
https://drive.google.com/file/d/1d1jkKv9jsoeC4U6YxR7vY5NcXpsPvDGb
https://drive.google.com/drive/folders/1yLBzZ1rSQoNjmWeJTZ3WGQHg04L1